MEMS Q因子的提升：基于参量放大的理论研究和参量器件设计
摘要：参数放大是一种人造增加微机电系统品质因素的有趣方法，对许多应用可能有所帮助。本文基于Matlab/Simulink仿真，提出了该原理的理论研究，并提出了参数结构的设计准则。同时，还提出了一种基于此方法设计的新设备，并给出了相应的有限元仿真结果。
作者：L. Grasser (IEF), H. Mathias (IEF), F. Parrain (IEF), X. Le Roux (IEF), J.-P. Gilles (IEF)
论文ID：0802.3073
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-02-22