基于MEMS的甲醛气体传感器的增强感应特性
摘要：用一种新的薄膜NiO感应层实现了一种新型自加热甲醛气体传感器的研究。开发了一种新的制备工艺，其中Pt微加热器和电极直接沉积在基底上，NiO薄膜沉积在微加热器上方作为感测层。Pt电极形成在感测层下方以测量氧化甲醛在氧化物表面引起的电导率变化。此外，上层感测层和NiO/Al2O3共溅射显著增加了气体传感器的灵敏度，提高了其检测限能力。本研究中的微加工甲醛气体传感器不仅适用于工业过程监测，还适用于建筑物中甲醛浓度的检测以保障人体健康。
作者：Yu-Hsiang Wang, C.-C. Hsiao, Chia-Yen Lee, R.-H. Ma, Po-Cheng Chou
论文ID：0802.3072
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-02-22