压电装置驱动的隔膜微泵的开发与应用
摘要：一种新型的薄、紧凑、轻型隔膜微泵已成功开发出来，通过隔膜的振动来驱动液体。该微隔膜泵具有两个阀门，在铝制外壳中通过使用高精度CNC机器加工而成，横截面尺寸为5mm×8mm。阀门和隔膜均由PDMS制造。压电装置产生的振动幅度产生振荡流，通过改变隔膜的曲率可以改变泵的腔室体积。设计和实施了几种性能测试实验装置，包括单个微隔膜泵、等温流开放系统和闭式液体冷却系统。单侧驱动的微隔膜泵的性能受到止回阀、隔膜、压电装置、腔室容积、输入电压和频率的设计的影响。在操作频率70-180 Hz范围内，该设计的最大流量为72 ml/min，零总泵头。
作者：H.K. Ma, B.R. Hou, H.Y. Wu, C.Y. Lin, J.J. Gao, M.C. Kou
论文ID：0802.3070
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-02-22