基于LTCC技术的湿度传感器的搭建和特性表征
摘要：LTCC技术应用的新型温湿度一体化传感器的开发和表征。在这种方法中，传感元件采用加热的金属电阻器（铂元件）实现，其中一个元件暴露在潮湿环境中，导致传感元件随着湿度增加而冷却，而另一个元件则封闭在环境之外。传感器设计基于有限元分析（FEA），其中关键设计参数已经分析，以考虑设备的性能特征。传感器元件的设置将被展示，并通过实验结果展示其功能能力。
作者：W. Smetana, M. Unger
论文ID：0802.3066
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-02-22