基于平面重叠板（IPOP）机制的高功率密度静电振动-电能转换器
摘要：基于体硅的振动驱动电能发电器的设计、制造和特性问题。该转换器基于平面重叠板（IPOP）结构。实验结果表明，在理论上无损耗的电子和起始电压为5V的情况下，共振频率为290Hz，可实现功率密度为58微瓦/立方厘米。通过减小寄生电容可以进一步提高功率密度，但会导致相当大的质量损失。在文献[2]中，研究发现质量减少19%将功率密度从12.95微瓦/立方厘米提高到59微瓦/立方厘米。因此，提出了一种改进的制造工艺，称为背面DRIE，可以在不损失大量质量的情况下提高功率密度。模拟结果显示，质量去除2.5%可以将功率密度提高到76.71微瓦/立方厘米。还讨论了初始的模拟结果和相关电子问题。
作者：A.M. Paracha (ESYCOM-Esiee), Ph. Basset (ESYCOM-Esiee), F. Marty (ESYCOM-Esiee), A. Vaisman Chasin (ESYCOM-Esiee), P. Poulichet (ESYCOM-Esiee), T. Bourouina (ESYCOM-Esiee)
论文ID：0802.3063
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-02-22