一个用于射频MEMS晶圆级封装电磁优化的完全参数化有限元模型
摘要：全参数封闭传输线模型在封装好的射频微电机器件的电磁优化中被提出。模型可以在封装过程中修改全部自由度，以优化由于封盖引入的损耗和失配（电容和电感耦合）对微电机射频行为的影响。此外，通过与实验数据的对比验证了Ansoft HFSS-TM对封盖射频微电机器件的模拟。一组由封盖的50条传输线和短路线路也被制作和测试。
作者：J. Iannacci, J. Tian, R. Gaddi, A. Gnudi, M. Bartek
论文ID：0802.3057
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-02-22