新型横向锥形光波导的紫外近距离打印制造
摘要：一种制造水平截锥结构光波导的新方法 摘要：本文提出了一种通过使用近距离印刷技术制造水平截锥结构光波导的新方法。采用了具有衍射效应的正交和倾斜掩膜进行光刻过程。该方法可以在制造过程中精确控制每个水平截锥光波导的几何外形。产生了具有相同倾斜角度的水平截锥光波导及其阵列。使用光束传播模拟软件（BPM\_CAD）对光学性能进行建模。仿真结果显示，模式轮廓与来自激光二极管的水平截锥光波导和光纤相匹配。水平半球截锥结构光波导的光损耗小于0.2dB。水平半球截锥波导将用于进一步光通信系统中的光纤耦合。
作者：T.-H. Lin, H. Yang, Ruey Fang Shyu, C.-K. Chao
论文ID：0802.3056
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-02-22