压力传感器的静态和动态测量参数识别
摘要：压力传感器的快速识别方法得到了研究。为了完成准确的传感器参数识别，结合了两种不同的测量方法。一种方法是进行静态测量-施加压力导致膜片变形，通过干涉测量获得相应的输出电压。另一种方法是对传感器膜片的模态响应进行光学测量。这些信息被用于逆向识别算法，基于有限元模型识别几何和材料参数。要识别的参数数量通常仅限于可测量模态频率的数量。通过对识别结果的定量评估，还可以对腐蚀错误等加工错误进行分类。本文将在相对压力传感器参数识别的基础上讨论膜厚度、内禀应力和输出电压的算法和识别结果。
作者：S. Michael, S. Kurth, J. Klattenhoff, H. Geissler, S. Hering
论文ID：0802.3055
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-02-22