无底硅微机电系统电机械谐振器
摘要：MEMS电力机械谐振器在无线通信领域显示出了重要的性能，可以替代SAW滤波器和石英参考振荡器。该论文将对MEMS电力机械谐振器的机制、机械行为、应用和规范进行详细介绍，并详细描述STMicroelectronics在MEMS谐振器的发展和特性分析方面的技术进展。
作者：C. Durand (ST-Crolles, Leti, Iemn), F. Casset (LETI), P. Ancey (ST-Crolles), F. Judong (ST-Crolles), A. Talbot (ST-Crolles), R. Quenouillere (LETI), D. Renaud (LETI), S. Borel (LETI), B. Florin (LETI), L. Buchaillot (IEMN)
论文ID：0802.3051
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-02-22