比较两种低功耗电子界面用于电容式MEMS传感器。
摘要：接口电容传感器的重要性和问题进行了讨论。介绍了两种适用于接口电容传感器的架构。第一个解决方案是为了接口一个专门设计和建造的电容湿度传感器，该传感器由布达佩斯科技经济大学开发的一种湿度依赖型单片电容器设计和制造。第二种情况介绍了用于SOI-MEMS加速度计的可能读出解决方案。这两种架构都在离散实现中进行了建立和测试，以在集成实现之前对方法进行验证。论文详细比较了这两种方法。
作者：G. Nagy, Z. Szucs, S. Hodossy, M. Rencz, A. Poppe
论文ID：0802.3049
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-02-22