使用溶胶-凝胶PZT薄膜的谐振弯曲板波器件进行液体密度感测
摘要：用溶胶-凝胶制备的铅锆酸钛（PZT）薄膜设计、制造和初步实验结果的弯曲板波(FPW)谐振器。该谐振器采用PZT和SiNx复合膜上的反射光栅的两端口结构。反射光栅的设计来自于使用COM理论的SAW谐振器模型，以产生尖锐的共振峰。理论表达式对质量和黏度效应的比较说明了所提出的器件在液体传感中的应用和限制。采用多层溶胶-凝胶制备的PZT薄膜，因为其相对于其他压电薄膜具有成本优势和高机电耦合效应。讨论了所提出的材料结构的制造问题。通过将质量和黏度效应的理论估计与实验结果进行比较。共振频率与低黏度液体的密度具有良好的线性相关性，证明了所提出的器件的可行性。
作者：Jyh-Cheng Yu, Huang-Yao Lin
论文ID：0802.3043
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-02-22