用于相对湿度传感的多孔Al2O3层的使用
摘要：一种便宜且与CMOS工艺兼容的电容式RH传感器在电子器件系研发部门被开发出来。电容式传感器基于薄膜的介电性质随水蒸气吸附而变化，这取决于周围介质的相对湿度含量。由于巨大的表面积与体积比以及丰富的空隙比例，多孔陶瓷可获得非常高的灵敏度。其中一种要使用的陶瓷是多孔的Al2O3，通过阳极偏置下的铝的电化学氧化获得。平均孔径在6...9 nm之间。在我们的论文中，我们打算展示影像，展示工艺参数对多孔结构和器件灵敏度的影响。
作者：Veronika Tim''ar-Horv''ath, L''aszl''o Juh''asz, Andr''as Vass-V''arnai, Gergely Perlaky
论文ID：0802.3041
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-02-22