一种具有"8垂直弹簧-质量块"结构的新型(111)-硅X轴调谐叉形陀螺仪
摘要：一种新型的用于科里奥利效应检测的X轴调谐叉形MEMS陀螺仪被提出。与常见的单面弹簧相比，8个垂直弹簧在顶部和底部对称位置更加稳定地悬挂着具有较大电容变化和低机械噪声的大厚度质量块。采用大规模微加工技术获得大质量块和双子式双梁。在制造过程中，8个垂直弹簧的尺寸通过热氧化保护限制沟槽（LTs）的侧壁和极慢刻蚀（111）平面精确限定，因此在调谐之前实现了小于30 Hz的小不匹配。初始测试显示，在大气压力下，灵敏度为0.15mV/(deg/s)，速率分辨率约为0.1deg/s。
作者：Fei Duan, Jiwei Jiao, Yucai Wang, Ying Zhang, Binwei Mi, Jinpeng Li, Jian Zhu, Yuelin Wang
论文ID：0802.3038
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-02-22