平行板电静力微致动器的边缘电容新模型及其应用
摘要：处理微细平行板致动器时，若电极之间的间隙与移动板的几何尺寸相近，则需要考虑边缘场的影响。但即使在这种情况下，现有的公式通常会导致复杂的数学模型，很难确定给定电压下移动板的偏转，并因此难以预测激励控制所需的电压。本文提出了一种新的边缘场建模方法，其中边缘场的效应被建模为串联电容。数值模拟证明了这种公式的适用性。基于这个模型，采用输入到状态稳定化（ISS）理论和反步状态反馈设计构建了一个稳健的控制方案。通过稳定性分析和数值模拟，证明了使用这种控制方案的系统的稳定性和性能。
作者：M. Hosseini, G. Zhu, Y.-A. Peter
论文ID：0711.3335
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2007-11-29