摘要：测量薄金属膜的机械性能的微机器概念的研发
作者：D. Fabr`egue, Nicolas Andr''e, T. Pardoen, J.P. Raskin
论文ID：0711.3332
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2007-11-29
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