强耦合电-机械有限元的静电致动可变形镜模型
摘要：基于先进的数值方法论，本文旨在处理微电子机械系统（MEMS）的多物理仿真。MEMS是一种非常小型的设备，其中涉及电力、机械和流体现象并相互作用。由于其微观尺度，不同物理场之间会产生强耦合效应，需要考虑在宏观尺度微不可见的一些力。为了准确设计这种微电子机械系统，能够处理电力和机械场之间的强耦合至关重要。本文使用有限元方法（FEM）来建模强耦合的电机-机械相互作用，并进行考虑了大网格位移的静态和瞬态分析。这些分析将用于研究静电作用下的微镜的行为。
作者：V. Rochus, J.-C. Golinval, C. Louis, C. Mendez, I. Klapka
论文ID：0711.3331
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2007-11-29