摘要：在厚型多晶硅技术中设计了一种用于光束定向光开关的微镜阵列的弯曲结构。提出了一种新颖的半解析方法，用于考虑结构的弯曲变形来计算微镜的静态特性。将结果与3D耦合场有限元模拟进行了比较。
作者：A. Molfese, A. Nannini, F. Pieri
论文ID：0711.3330
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2007-11-29
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