光阻中利用聚四氟乙烯疏水效应制备微球透镜阵列
摘要：用于制造微球透镜及其阵列的简单方法是利用聚四氟乙烯（PTFE）基片的疏水特性。熔化的光刻胶图案与PTFE之间的高接触角可以产生微球透镜及其阵列。PTFE薄膜被旋涂到硅片上，并在烘箱中干燥。使用光刻胶AZ4620将具有不同直径（60、70和80微米）的微柱进行图案化处理。然后应用热熔流程将这些微柱图案熔化，从而得到微球透镜阵列。通过使用80微米直径的图案，制备了直径为98微米的微球透镜阵列。该方法提供了一个简单的制造工艺和低材料成本。
作者：Ruey-Fang Shyu, Hsiharng Yang, Wen-Ren Tsai, Jhy-Cherng Tsai
论文ID：0711.3329
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2007-11-29