掺杂光纤放大器中微电机可变镜的集成
摘要：通过将电静电驱动的可变形金属微镜积极集成到各种类型的光纤放大器中，我们提出了一种产生活性调Q的简单技术。光学微机电系统（MEMS）装置既作为激光腔反射镜，同时又作为开关/调制器元件。我们的目标是获得发射短脉冲、高功率脉冲并具有可变重复频率的激光系统。通过使用电静电和模态3D有限元分析（FEA）对薄膜（桥式）的电机械行为进行了模拟。模拟结果与组件的实验机械、电气和热测量结果吻合良好。为了减少对纤维与反射镜对准的敏感性，我们正在开发基于应力金属悬臂式结构的新型光学器件，可以在激励期间产生最高50 μm的偏转，并具有增加的反射率区分度。
作者：D. Bouyge (XLIM), D. Sabourdy (XLIM), A. Crunteanu (XLIM), P. Blondy (XLIM), V. Couderc (XLIM), J. Lhermite (XLIM), L. Grossard (XLIM), A. Barth''elemy (XLIM)
论文ID：0711.3327
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2007-11-29