光纤迷你化荧光激发平台用于生物检测芯片
摘要：用光纤传输的荧光生物检测芯片平台制造的新研究。对（100）硅晶片进行各向异性湿蚀刻以制造适用于光纤对准和微型反射镜的V槽。结合阳极键合技术，将玻璃、硅结构和光纤粘合以完成荧光激发平台。在本研究中，使用40% KOH蚀刻溶液研究参数的影响。结果表明，工作温度是明显影响蚀刻速率的主要参数。各向异性蚀刻得到了54.7度的反射镜，并对其光束的反射率进行了检查。使用AFM测量了微型反射镜的表面粗糙度为Ra 4.1 nm，提供了优异的光反射。进一步研究还检查了入射光和光束的轮廓。本研究表明这种微平台适用于荧光生物检测。
作者：Hsiharng Yang, Chung-Tze Lee
论文ID：0711.3325
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2007-11-29