液体环境中的静电致动器：抑制粘附不稳定性和动态响应
摘要：在不同介电常数的液体中制造和操作静电驱动器方面的研究结果。在静态模式下，我们提供了实验和理论上的证明，当静电驱动器在液体中运行时，剔除效应可以超过初始间隙的三分之一，甚至可以消除。这将有利于微流控应用，无论是需要二进制状态驱动（例如泵、阀门）还是需要在整个间隙上连续位移（例如微夹具）。在动态模式下，微悬臂等驱动器对于原子力显微镜(AFM)在液体中具有极大的兴趣。由于该应用需要对悬臂谐振频率和品质因数有深入的理解，因此建立了在液体环境中的解析建模。通过使用集成静电驱动的硝化物封装悬臂的实验结果，验证了理论推导的曲线。通过使用交流电压来抵消电极电位屏蔽和不期望的电化学反应。实验和理论结果都可以为液体AFM中的微悬臂设计提供有用的参考。
作者：A.-S. Rollier (IEMN), M. Faucher (IEMN), B. Legrand (IEMN), D. Collard (IEMN), L. Buchaillot (IEMN)
论文ID：0711.3321
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2007-11-29