微系统产品开发
摘要：微电子机械系统（MEMS）、光学电路和应用特定集成电路（ASIC）的复杂设计和制造在过去的十年中取得了成功。封装和集成过程滞后于MEMS研究，但正在快速成熟。随着封装过程的发展，一个新的挑战出现了，即微系统产品开发。产品开发涉及设计的成熟和成功生产产品所需的所有过程。工具设计、夹具、量规、测试仪、检验、作业指导、工艺规划等因素，通常被MEMS工程师忽视，他们集中精力于设计、制造和封装过程上。对产品开发努力的彻底、前期规划对于任何项目的成功至关重要。
作者：M.-A. Polosky, E.-J. Garcia
论文ID：0711.3274
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2007-11-29